全球半导体行业稳定向好,中国市场如火如荼也带动了整个洁净室产业的发展。综合来看,三因素决定我国半导体行业的高速发展:
1)国内半导体销售占比和增速远高于全球平均水平,半导体市场消费基数维持高位。
2)我国半导体设备支出占比小增速快,设备市场增长空间大。
3)半导体贸易逆差持续维持1,600亿美元高位,“进口替代”大势所趋。
1. 乱流型:空气从空调箱通过风道和洁净室内的空气滤清器进入洁净室,再从洁净室两侧的隔断墙板或高架地面回风。气流是非线性的,存在不规则的湍流或涡流。适用于1000-100000级洁净室。
优点:结构简单,系统连接成本低,洁净室扩展简单。在一些特殊的使用场所,可采用无尘操作平台来提高洁净室的档次。
缺点:室内空间内乱流形成的粉尘颗粒不易排出,容易污染生产产品。此外,如果系统暂停和重新,将需要很长时间才能达到所需的清洁。
复合型:复合型是将紊流型与层流型复合或结合,提供一定的超洁净空气。
(1)隧道清洁:采用过滤器或ULPA过滤器,覆盖工艺区域或作业区域,将清洁度提升至10级以上,节省安装成本。这种类型需要将操作者的操作区域与产品和机器维修隔离开来,以防止在机器维修过程中影响操作和质量。这种类型主要用于ULSI工艺。干净的隧道有两个好处:
A.简单弹性膨胀;
b、设备维修时可在维修区域内轻松完成。
(2)清洁管道:对产品工艺通过的自动化生产线进行封闭、净化,将洁净度提升至100级以上。由于产品、操作人员与产生粉尘的环境隔离,少量送风可获得良好的清洁度,节约能源,无需人工操作的自动化生产线更适合使用。适用于医药、食品、半导体等行业。
(3)部分洁净室同步安装:将生产用洁净室1000-100000至10-1000以上的紊流洁净室的产品工艺区域洁净度提高;清洁操作台、清洁操作室、清洁空气柜等。
清洁操作平台:1-100级。
清洁工作了:为了形成一个小空间在动荡的洁净室空间与防静电透明塑料布,独立HEPA或ULPA和空调送风单元选择成为一个更高级别的洁净空间,10 - 1000级,高约2.5米,占地面积约10平方米或更少,四个柱子和可移动的轮子,可以灵活使用。
电池能源净化工程
众所周知,粉尘、水分、金属颗粒等是锂电池电芯制造的天敌。在锂电池电芯生产过程中,过多的水分进入到锂电池内,会对锂电池的性能造成严重的影响,甚至可能引发爆炸:而空气中的粉尘,进入到锂电池生产工艺中也可能造成锂电池在使用过程中短路的现象;因此,锂电池电芯制造需要严格“避开”空气中的水分和粉尘。
锂电池生产环境的有效控制,对锂电池质量的提升有着重要的作用。对生产车间进行的除尘、除湿和净化成为每一家电池企业必不可少的关键环节。电池企业对生产车间的除尘、除湿和净化的要求也越来越高。
事实上,同样的厂房面积和产能规划,在除尘、除湿和净化以及节能效率方面需要请专业厂家提供解决方案。其中,相同的控制要求,效率越高费用则越高,但效果也更明显。