为达到洁净水平,无尘车间的设置需要采取综合措施,包括工艺布置、建筑平面、建筑结构、空气净化措施、维护管理等,其中空气净化措施是达到洁净水平的根本保证。
无尘车间的设计并不像想象的那么简单,它是一个大工程,需要消耗大量的能源,尤其是空调。因此,在设计和施工中,必须注意节能措施、系统和区域划分、风量计算、温度和相对湿度的确定。在该区域,为保证无尘车间的全过程调节,空调箱应根据气候条件选择自动控制装置。另外,空调房设计在无尘车间内。这样既节约了能源,又使气流组织更加合理。
人和物体是粉尘的主要来源,应加以控制。比如进入无尘车间,每个人都必须通过人际网络系统换上干净的衣服,接受净化系统功能的基础教育。
在无尘车间的设计过程中,根据项目的实际情况和客户的具体要求,做好以上几点。按设计方案运行的无尘车间应提供必要的给排水装置、供气装置和电源。这些装置和相关设备的设计必须易于使用,并且不会对空气净化系统造成障碍。
在整个集成电子无尘车间中,电路的尺寸技术可以说是促进净化的关键点。电子无尘车间的制备方法越先进,芯片尺寸越小。然而,电子无尘车间电路上的颗粒物粒径小约1%~2%,在电子无尘车间中会成为废品,因为金属及类似是电子无尘车间的废品问题之一。