传感器的端部是高弹性钢质薄膜,头部充满低黏度硅油,起传递压力和隔热作用。敏感元件硅杯浸在硅油中,被测压力通过钢膜片和硅油传递给硅杯,硅杯的集成电阻通过金属引线与绝缘端子相连,在印制电路板上有各种补偿电阻。
薄膜型压阻传感器是利用真空沉积技术将半导体材料沉积在带有绝缘层的试件上而制成的。
扩散型压阻传感器是在半导体材料的基片上利用集成电路工艺制成扩散电阻。将P型杂质扩散到N型硅单晶基底上,形成一层极薄的P型导电层,再通过超声波和热压焊法接上引出线就形成了扩散型半导体应变片。
传感器是自动检测系统主要的自动化装置,其中还包括显示器、数据处理装置。它是用来感受被测量并且以一定规律转换成可输出信号的器件或装置,还可以将被测参数转换成一定且方便传输的信号,如电信号或气信号。
硅膜片的一面是与被测压力连通的高压腔,另一面是与大气连通的低压腔。硅膜片一般设计成周边固支的圆形,直径与厚度比约为20~60。在圆形硅膜片定域扩散4条P杂质电阻条,并接成全桥,其中两条位于压应力区,另两条处于拉应力区,相对于膜片中心对称。
此外,也有采用方形硅膜片和硅柱形敏感元件的。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上扩散制作电阻条,两条受拉应力的电阻条与另两条受压应力的电阻条构成全桥。