CCD的中文名称是电荷耦合器件，与一般的半导体集成电路相似，它在一块硅单晶上集成了成千上万个光电三极管，这些光电三极管分成三列，分别被红、绿、蓝色的滤色镜罩住，从而实现彩色扫描。光电三极管在受到光线照射时可产生电流，经放大后输出。采用CCD的扫描仪技术经多年的发展已相当成熟，是市场上主流扫描仪主要采用的感光元件。
CIS的中文名称是接触式图像感应装置。它采用触点式感光元件（光敏传感器）进行感光，在扫描平台下1mm～2mm处，300～600个红、绿、蓝三色LED（发光二极管）传感器紧紧排列在一起，产生白色光源，取代了CCD扫描仪中的CCD阵列、透镜、荧光管和冷阴极射线管等复杂机构，把CCD扫描仪的光、机、电一体变成CIS扫描仪的机、电一体。用CIS技术制作的扫描仪具有体积小、重量轻、生产成本低等优点，但CIS技术也有不足之处，主要是用CIS不能做成高分辨率的扫描仪，扫描速度也比较慢。
扫描仪的性能指标主要有分辨率、灰度级和色彩数，另外，还有扫描速度、扫描幅面等等。
分辨率
分辨率表示了扫描仪对图像细节的表现能力，通常用每英寸长度上扫描图像所含的像素点的多少来表示，即（Dot Per Inch)。
灰度级
灰度级表示灰度图像的亮度层次范围。级数越多说明扫描仪图像亮度范围越大、层次越丰富。
扫描仪的接口类型对扫描仪的应用和扫描速度有一定的影响。扫描仪和其他外设产品一样，USB接口因其支持热插拔、安装简单且传输速度较快而成为市场主流。
易用性
易用性体现在硬件和软件两个方面。对硬件来说，主要看其操作是否方便快捷；软件方面主要是看其是否具有人性化的设计思想，人机交互方面是否科学合理，以及扩展性如何等。